格創東智AMHS，開啟泛半導體效率提升新篇章

日前，格創東智在短短15天內成功交付首臺Stocker晶圓存儲立庫，助力頭部12吋晶圓廠實現高效自動化物料存儲擴展的需求。這一成就不僅是公司業務的一次前進，更是國內AMHS技術發展的一次重要突破。

FAB廠物料存儲Stocker，專為FOUP/SMIF Pod等多種載具的存儲與搬運，其可根據客戶現場空間及其他特色需求提供定制化服務，以最大限度利用FAB廠空間。搭載智能儲位管理系統的Stocker，在FAB廠減少出庫時間，提高搬送效率方面發揮著重要作用，為工廠實現Fully Auto提供重要支持。格創東智自主研發的Stocker產品線，除FOUP Stocker外，還包括國內首研的Tower Stocker，自2022年起已陸續交付客戶，全面覆蓋8吋、12吋料盒的存儲使用場景。

對于FAB廠Stocker而言，存儲只是基礎需求。與AMHS上位系統進行實時通訊，實現MCS帳料自動管理，減少搬運擁堵，確保機臺排產高效，是客戶的高階追求。

眾所周知，AMHS主要由OHT空中搬運小車、Stocker晶圓存儲立庫、MCS/OHTC/STKC等軟件系統組成。其中OHT作為技術最復雜的部分，其在不同FAB廠的需求也不盡相同，當前主流8吋晶圓廠的物料搬運系統因軌道岔路的數量和類型相對較少，搬運效率相對較低。而12吋晶圓廠軌道布局極其復雜，包含各類岔路、彎軌、高低軌道和升降裝置；且因產能提升，對搬運速率的要求更高，需要配置更多的傳感器、激光雷達等產品與控制系統；同時OHT的調度算法也更為復雜，軟件迭代速度需緊跟客戶需求。

對此，格創東智AMHS產品負責人指出，公司在不同晶圓廠的Demo Line驗證時，已提前考慮市場需求，在性能、穩定性及軟件功能等方面持續開展了大量優化迭代工作。為了更好地助力客戶成功，格創東智不斷迭代“AI+工業軟件+裝備智能”三大核心能力，加速軟硬件能力的整合。公司自主研發的OHT天車，涵蓋前道6吋/8吋SMIF Pod和12吋FOUP，后道Magazine，滿足不同工序工廠的載具搬運需求；并提供多種軌道模組，滿足12吋晶圓廠復雜的Layout需求；在OHT設備與人員高效協作方面，通過11種安全防護傳感器，有效識別與自動預警天車速度、障礙躲避、碰撞檢知、料盒斷裂、升降晃動、硅片墜落、料盒位置等運行狀況，打造高效的自動化、潔凈化、低震動化的物流自動搬運方式。此外，格創東智通過設備、軟件、算法和應用多維度自主研發成果結合，助力客戶業務成功，提供AMHS在調度層、控制層、設備層的全?；a品，釋放客戶生產的無限可能。

依照摩爾定律，半導體行業呈現產品升級迭代快、性能持續提升、成本持續下降、制程不斷縮小的發展趨勢。而AMHS的技術發展方向與半導體產業的未來走勢密切相關。格創東智作為堅持自主研發AMHS整套自動化軟硬件、設備零部件及改造解決方案的先驅企業，堅信只有自主研發的軟硬件，才能應對高節拍生產中的所有不確定性。雖然自主研發之路充滿挑戰，但對陪伴客戶全生命周期成長，滿足客戶不同發展階段的柔性化升級需求，具有長遠價值。

目前，格創東智在AMHS領域目標清晰，路徑明確，作為國內AMHS自主研發的領軍企業，我們將持續投入于產品的精細化打磨、系統性能和穩定性的提升，加速AMHS國產化替代目標的實現。