成功案例|格創東智AOI檢測設備助力頭部硅片廠實現生產全流程自動化質檢
項目背景
國內頭部半導體材料廠,專注于半導體硅片及其延伸產業領域的研發和制造,堅持以創新驅動發展,為全球客戶提供全產品解決方案。
項目挑戰
眾所周知,硅片是生產集成電路、分立器件、傳感器等半導體產品的關鍵材料,是半導體產業鏈基礎性的一環。但在硅片生產過程中,伴隨復雜工藝流程產生的缺陷種類多且復雜,多數工廠采用人工目檢方式進行外觀檢測,而人工目檢會隨著產能的提升和工藝能力要求的提高產生諸多弊端:
判定標準不統一,檢測效率低下 質檢人員流動性大,培訓周期長 無留檔記錄,無法追溯歷史數據 缺陷種類多,無法量化缺陷統計數據 無法實時監控和反饋數據,缺少工藝異常鎖定功能 1)產品外觀缺陷檢測:通過機器視覺獲取產品表面特征圖像,對圖像中的缺陷進行精準定位抓取,并進行精準識別與分類; 2)數據統計分析:分析產品缺陷分類占比,準確定位缺陷位置信息,有效識別生產工藝改善方向;批量統計分析缺陷變化規律,定位缺陷產生原因及工藝,實時檢測設備及工藝性能波動情況;結合生產過程中出現的缺陷數據和趨勢信息,對改善制造工藝、優化生產流程進行缺陷根因分析; 3)自適應缺陷識別:通過自適應成像配置調節及多種成像方式,結合無監督遷移學習的人工智能算法,對新形態缺陷不論大小以及形態均實現自適應缺陷檢出。并配合自動化質量監控對設備問題進行報警。 項目成果 通過自動化檢測設備替代原有人工目檢,10秒檢測一塊硅片,檢測效率大幅提升,滿足高產能生產需求;1個人可以同時維護多臺設備,大幅降低了人力投入,同時縮短了人工培訓周期。 2、缺陷檢測準確率高達99% 通過自適應高分辨率成像穩定獲取產品圖像特征,并結合機器視覺建立統一的缺陷檢測規范,有效提升了產品缺陷檢測的穩定性以及準確性。 3、出貨良率提升20% 在進行缺陷檢測的同時,進行大量數據統計分析,有效識別前段工藝生產問題及改善方向,進而促進生產工藝優化,結合精準的產品等級劃分,促使產品出貨良率提升。

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