成功案例 ｜首臺15天交付！格創東智Stocker助力頭部12吋晶圓廠自動化物料存儲

國內頭部半導體存儲器制造商，專業從事集成電路內存芯片的設計、研發、生產和銷售，目前12英寸晶圓廠已建成投產。其在國內外擁有多個研發中心和分支機構，已推出多款不同類型的內存芯片，滿足多種應用需求。

隨著市場行情的回暖和外部需求的增長，公司產能逐漸提升，現有Stocker晶圓存儲立庫（以下簡稱Stocker）的存儲量無法滿足需求，急需擴充FOUP的存儲。

同時由于客戶工藝流程復雜、生產過程離散，會使得某些機臺在某一段時間內，積累的晶圓比較多，如果是依賴人力搬運，難免出現調度、轉運不及時的情況，從而造成瓶頸機臺的擁塞以及部分機臺運行不飽和。

眾所周知，從早期的6英寸晶圓廠，到如今的8英寸、12英寸廠成為主流，半導體制造工藝越來越先進，產線中的工序成倍增長，關鍵機臺的吞吐量也在一代代的更迭中迅速增加，傳統人力在產線設備間的物料搬運，成為制約生產效率和生產質量的瓶頸。也因此，AMHS從8英寸廠開始顯露頭角，在12英寸廠中成為標配。

AMHS主要由OHT空中搬運小車、Stocker晶圓存儲立庫、MCS/OHTC/STKC軟件系統等組成。其中Stocker作為AMHS的重要構成，用于潔凈室內半導體生產工序及工序之間晶圓載具的存儲，可與上位系統進行通訊，實現帳料自動管理。為客戶生產現場減少物料搬運擁堵情況，降低傳送周期，管理復雜的批次操作，實現物料高效搬運。同時確保機臺排產充足，為工廠實現Fully Auto提供重要支持。

根據無塵室可利用空間，格創東智靈活定制各類型Stocker，實現空間最大化。

Stocker設備打包完畢、發往客戶工廠

通過導入格創東智Stocker，自動化存儲、提取和傳送各種規格的晶圓料盒，該頭部12吋晶圓廠實現了高效自動化物料存儲擴產的需求。

1、自動物料搬運存儲

Stocker專為潔凈車間設計，與OHT等自動化設備的協同作業構建起高效的自動物料搬運存儲系統AMHS，根據生產計劃和需求來優化物料流動。

2、降低人力&提高效率

作為無塵車間內的臨時存儲庫，Stocker可平衡設備及工藝間產能的差異，最大程度縮短晶圓在工藝設備間的流轉時間，提高設備利用率；Stocker控制系統可自動向MCS系統更新對應物料的位置信息，實現物料的統一管理，提高工作效率的同時減少人員工作強度。

3、提高產品質量

Stocker內部可達到較高的潔凈度，能夠滿足物料存儲對潔凈度的要求，同時庫存和物料流動的實時追蹤有助于快速定位和解決潛在問題，進而提升產品質量、實現制造過程的可追溯性。

4、提高空間利用率

Stocker能夠充分利用潔凈車間的閑置面積及垂直空間，在相同占地面積中提高倉儲容量，從而提高空間利用率。

與常規交付相比，此次項目的工期非常緊，格創東智臨危受命，緊急協調各種資源，組建專業項目團隊，與客戶緊密溝通，快速實現Stocker的調試/交付（第一臺Stocker從客戶PO下發到現場交付僅僅15天，這個效率在業界是絕無僅有的），非常及時、高效地支撐了客戶產能的提升，并取得了客戶的高度認可。