工業RFID在半導體天車解決方案

目前蘇州某科技公司的半導體天車目前現階段存在問題：

（1）傳統8寸晶圓加工過程中涉及幾十道工序，目前都是采用人工搬運，容易產生污染物導致晶圓損壞，速度也比較慢，不良率很高。

（2）在半導體制造過程中，天車需要與多種設備和工序進行協同與配合。如果不同工序間的協同不順暢或配合不緊密，可能導致生產效率下降和產品質量問題。

晨控提供的解決方案：

（1）在半導體天車的行車軌道節點上安裝RFID讀寫器CK-S650-PA60S，當天車搬運FOUP晶圓盒經過軌道節點時自動識別晶圓盒內的TI標簽，確保所搬運的晶圓盒信息準確無誤。

（2）FOUP晶圓盒上安裝TI載碼體標簽，記錄了晶圓芯片的所有信息，如晶圓尺寸、制造日期、流程信息等，在搬運過程中，RFID讀寫器會將讀取到的信息實時上傳到管理系統。這樣管理人員可以實時掌握晶圓盒的搬運情況，并在必要時進行干預或調整，從而提高整體的工作效率。

（3）天車在封閉的軌道內運行，可以大大減少晶圓暴露在外界環境中的風險，從而有效避免污染問題，提高產品的良率。

晨控CK-S650系列讀寫器特點

●讀寫器采用高強度的鋁合金外殼，具有識別速度快、準確率高、識別距離適中、組網方便等特點，能完全平替歐姆龍V640系列產品。

●豐富的接口和協議：RS232/RS485/以太網、支持標準工業半導體HSMS、ModbusTCP協議,同時還支持1和N協議。

●操作方便：設備外置了三個模式開關選擇器，方便用戶直接設置工作模式、通信速率以及設備地址。讀卡器內部集成了射頻部分通信協議，用戶只需通過RS232/RS485/以太網通信接口發送接收數據便可完成標簽的讀取操作，無需理解復雜的射頻通信協議。